三清仪器 SKN 系列氮气柜湿度计量比对方法及注意事项

三清仪器 SKN 系列氮气柜采用氮气置换除湿原理，湿度控制范围通常为1%RH~60%RH，显示精度为 ±3% RH。湿度计量比对需遵循国家计量规范（如 GB/T 11605-2005《湿度测量方法》），采用标准比较法进行，确保数据准确可靠。

关键要求：标准设备必须在校准有效期内，且具备计量溯源证书。

被测氮气柜准备

清空柜内物品（或放置与实际使用一致的模拟负载）

检查门体密封条、氮气接口密封性，确保无泄漏

连接99.99% 以上高纯氮气源，确认供气正常

通电预运行2~4 小时，使设备进入稳定运行状态

检查氮气柜自带湿度传感器位置，避免测试时遮挡

环境条件控制

环境温度：20℃±5℃，避免阳光直射、气流干扰

环境湿度：≤70% RH，防止外界湿度影响柜内稳定性

氮气压力：稳定在0.2~0.4MPa，确保供气均匀

氮气柜运行参数设定

按使用需求设定 3 个典型湿度值（如 5% RH、20% RH、40% RH），覆盖常用湿度区间

设定完成后，等待柜内湿度达到稳定状态（30~60 分钟，以显示值波动≤±1% RH 为准）

数据采集与记录

每个设定值下，同步记录：

氮气柜自带湿度显示仪示值（连续 3 次，间隔 10 分钟）

标准湿度设备在各测试点的测量值（同步 3 次，间隔 10 分钟）

记录内容应包括：环境温湿度、氮气压力、测试时间、测试人员等信息

数据处理与比对判定

计算平均值：分别计算每个测试点的显示平均值和标准平均值

一致性判定：

所有测试点示值误差绝对值≤±3%RH（SKN 系列标称精度），判定为合格

若误差超差，需分析原因（如密封性、氮气纯度、传感器漂移等）并重新测试

计量比对注意事项

标准设备与溯源性

必须使用经法定计量机构校准合格的标准设备，严禁使用超期或无证书设备

标准设备与被测传感器需进行热平衡（放置时间≥30 分钟），避免温度差异导致误差

氮气系统与密封性

测试前检查氮气管道是否清洁，避免油污、杂质影响湿度测量

测试过程中禁止频繁开门，每次开门时间≤1 分钟，防止湿度突变

若发现密封性问题（如密封条老化），需先更换再进行比对测试

低湿度环境特殊要求

低湿（<10% RH）比对时，优先使用露点仪测量，避免相对湿度测量误差放大

低湿状态下稳定时间需延长至60~90 分钟，因氮气置换低湿空气需要更长时间

标准传感器需具备低湿测量能力，避免超出量程导致数据无效

安全操作规范

氮气为惰性气体，测试区域需保持通风，防止缺氧风险

氮气压力调整需缓慢进行，避免压力过高损坏设备

测试结束后，关闭氮气源，释放柜内压力，再进行设备清洁

通过以上规范的计量比对方法和严格的注意事项，可确保三清仪器 SKN 系列氮气柜湿度测量的准确性和可靠性，为精密电子元器件、半导体材料等存储提供有效保障。